VideoCheck® HA con certificazione SEMI

Il VideoCheck® HA consente di misurazione misurare pezzi di precisione con tolleranze dell'ordine del micrometro e dimicrogeometrie 3D anche su pezzi di grandi dimensioni. dispositivo ha un concetto unico con fino a tre assi indipendenti del sensore per misure multisensore rapide e senza limitazioni. Nella modalità brevettata Raster Scanning HD, le singole immagini acquisite durante il movimento vengono sovrapposte per formare un immagine complessiva quadro ad alta risoluzione. Ad esempio, è possibile misurare automaticamente pannelli di grandi dimensioni con migliaia di piccoli fori. immagine complessiva ha una risoluzione risoluzione fino a 20.000 megapixel (circa 140.000 × 140.000 pixel con una dimensione dei pixel di 5 µm).
Le linee guida dell'organizzazione SEMI stanno diventando sempre più importanti a livello mondiale e devono essere valutate da una terza parte indipendente. In Germania, questa certificazione può essere effettuata dal TÜV (Technischer Überwachungsverein). A questo scopo, il VideoCheck® HA è stato adattato alle linee guida internazionali in materia di ambiente, salute e sicurezza per gli impianti di produzione di semiconduttori e dotato degli accessori necessari. Le linee guida SEMI contengono specifiche dettagliate, in particolare per la progettazione elettrica e l'immunità alle interferenze, ma anche per la meccanica costruzione, la protezione dalle radiazioni e dal rumore e l'ergonomia. Uno speciale cofano antincendio, ad esempio, riduce il carico di incendio. L'ancoraggio al pavimento è utilizzato per la protezione antisismica e stabilizza il dispositivo, che è montato su smorzatori di vibrazioni, nel caso in cui si verifichi il peggio. Le barriere fotoelettriche garantiscono l'arresto dell'apparecchio o l'azionamento degli assi dell'apparecchio a velocità sicure in caso di accesso al corridoio di sicurezza.