VideoCheck® HA con certificación SEMI

El VideoCheck® HA permite la medición de piezas de precisión con tolerancias en el rango de micrómetros y 3D-microgeometrías incluso en piezas de gran tamaño. El máquina tiene un concepto único con hasta tres ejes de sensores independientes para mediciones rápidas multisensor sin limitaciones. En el modo patentado Raster Scanning HD, las imágenes individuales captadas durante el movimiento se superponen para formar una imagen general de alta resolución. Por ejemplo, pueden medirse automáticamente grandes paneles con miles de pequeños orificios. La imagen general tiene una resolución de hasta 20.000 megapíxeles (aprox. 140.000 × 140.000 píxeles con un tamaño de píxel de 5 µm).
Las directrices de la organización SEMI son cada vez más importantes en todo el mundo y deben ser evaluadas por un tercero independiente. En Alemania, esta certificación puede realizarla el TÜV (Technischer Überwachungsverein). Para ello, el VideoCheck® HA se ha adaptado a las directrices internacionales sobre medio ambiente, salud y seguridad para instalaciones de producción de semiconductores y se ha equipado con los accesorios necesarios. Las directrices SEMI contienen especificaciones detalladas, en particular para el diseño eléctrico y la inmunidad a las interferencias, pero también para la mecánica diseño, la protección contra la radiación y el ruido y la ergonomía. Un capó especial de protección contra incendios, por ejemplo, reduce la carga de fuego. El anclaje al suelo sirve de protección antisísmica y estabiliza el máquina, montado sobre amortiguadores de vibraciones, en caso de que ocurra lo peor. Las barreras fotoeléctricas garantizan que el aparato se detenga o que los ejes del aparato funcionen a velocidades seguras si se entra en el pasillo de seguridad.