dozvědět se více
Úsporné měření s vícesenzorovou technologií

Bezpečnost pro lidi a životní prostředí

VideoCheck® HA s certifikací SEMI

S odchylkami měření délky MPE Euni až (0,25 + L/900) µm a (0,15 + L/2000) µm jsou VideoCheck® HA a VideoCheck® UA nejpřesnějšími multisenzorovými souřadnicovými měřicími systémy na světě. Průmyslová asociace SEMI (Semiconductor Equipment and Materials International) vydává mezinárodní bezpečnostní normy pro použití těchto zařízení ve výrobě nano- a mikroelektroniky.

VideoCheck® HA umožňuje měření přesných obrobků s tolerancemi v rozsahu mikrometrů a 3D mikrogeometrií, a to i na velkých obrobcích. Zařízení má jedinečnou koncepci s až třemi nezávislými osami snímačů pro rychlé měření s více snímači bez omezení. V patentovaném pracovním režimu Raster Scanning HD se jednotlivé snímky pořízené během pohybu překrývají a vytvářejí celkový obraz s vysokým rozlišením. Automaticky tak lze měřit například velké panely s tisíci malých otvorů. Celkový obraz má rozlišení až 20 000 megapixelů (přibližně 140 000 × 140 000 pixelů s velikostí pixelu 5 µm).
Směrnice organizace SEMI nabývají celosvětově na významu a musí být posuzovány nezávislou třetí stranou. V Německu může tuto certifikaci provádět TÜV (Technischer Überwachungsverein). Za tímto účelem byl přístroj VideoCheck® HA přizpůsoben mezinárodním směrnicím pro ochranu životního prostředí, zdraví a bezpečnosti při práci v zařízeních na výrobu polovodičů a vybaven potřebným příslušenstvím. Směrnice SEMI obsahují podrobné specifikace, zejména pro elektrické provedení a odolnost proti rušení, ale také pro mechanické provedení, ochranu proti záření a hluku a ergonomii. Speciální protipožární kryt například snižuje požární zátěž. Kotvení do podlahy slouží k ochraně proti zemětřesení a v případě nouze stabilizuje zařízení postavené na tlumičích vibrací. Světelné závory zajišťují zastavení zařízení nebo bezpečný chod os zařízení při vstupu do bezpečnostního koridoru.

Kontakt
Chcete-li zobrazit obsah ve svém jazyce, vyberte jinou zemi nebo oblast.