VideoCheck® HA s certifikací SEMI

VideoCheck® HA umožňuje měření přesných obrobků s tolerancemi v rozsahu mikrometrů a 3D mikrogeometrií, a to i na velkých obrobcích. Zařízení má jedinečnou koncepci s až třemi nezávislými osami snímačů pro rychlé měření s více snímači bez omezení. V patentovaném pracovním režimu Raster Scanning HD se jednotlivé snímky pořízené během pohybu překrývají a vytvářejí celkový obraz s vysokým rozlišením. Automaticky tak lze měřit například velké panely s tisíci malých otvorů. Celkový obraz má rozlišení až 20 000 megapixelů (přibližně 140 000 × 140 000 pixelů s velikostí pixelu 5 µm).
Směrnice organizace SEMI nabývají celosvětově na významu a musí být posuzovány nezávislou třetí stranou. V Německu může tuto certifikaci provádět TÜV (Technischer Überwachungsverein). Za tímto účelem byl přístroj VideoCheck® HA přizpůsoben mezinárodním směrnicím pro ochranu životního prostředí, zdraví a bezpečnosti při práci v zařízeních na výrobu polovodičů a vybaven potřebným příslušenstvím. Směrnice SEMI obsahují podrobné specifikace, zejména pro elektrické provedení a odolnost proti rušení, ale také pro mechanické provedení, ochranu proti záření a hluku a ergonomii. Speciální protipožární kryt například snižuje požární zátěž. Kotvení do podlahy slouží k ochraně proti zemětřesení a v případě nouze stabilizuje zařízení postavené na tlumičích vibrací. Světelné závory zajišťují zastavení zařízení nebo bezpečný chod os zařízení při vstupu do bezpečnostního koridoru.