VideoCheck® HA com certificação SEMI

O VideoCheck® HA permite a medição de peças de precisão com tolerâncias na ordem dos micrómetros e microgeometrias 3D, mesmo em peças de grandes dimensões. O dispositivo tem um conceito único com até três eixos de sensores independentes para medições rápidas e sem limitações com vários sensores. No modo de funcionamento patenteado Raster Scanning HD, as imagens individuais captadas durante o movimento são sobrepostas para formar uma imagem global de alta resolução. Por exemplo, grandes painéis com milhares de pequenos orifícios podem ser medidos automaticamente. A imagem global tem uma resolução de até 20.000 megapixéis (aprox. 140.000 × 140.000 pixéis com um tamanho de pixel de 5 µm).
As directrizes da organização SEMI estão a tornar-se cada vez mais importantes em todo o mundo e devem ser avaliadas por uma terceira parte independente. Na Alemanha, esta certificação pode ser efectuada pela TÜV (Technischer Überwachungsverein). Para este efeito, o VideoCheck® HA foi adaptado às directrizes internacionais em matéria de ambiente, saúde e segurança para instalações de produção de semicondutores e equipado com os acessórios necessários. As directrizes SEMI contêm especificações pormenorizadas, sobretudo no que diz respeito à conceção eléctrica e à imunidade a interferências, mas também à conceção mecânica, à proteção contra radiações e ruídos e à ergonomia. Um capô especial de proteção contra incêndios, por exemplo, reduz a carga de incêndio. A ancoragem ao solo é utilizada para a proteção anti-sísmica e estabiliza o aparelho montado sobre amortecedores de vibrações em caso de emergência. Barreiras de luz asseguram que o aparelho está parado ou que os eixos do aparelho são operados a velocidades seguras quando se entra no corredor de segurança.