VideoCheck® HA 和 VideoCheck® UA 的 MPE Euni 长度测量偏差分别高达 (0.25 + L/900) µm 和 (0.15 + L/2000) µm，是世界上最精确的多传感器坐标测量系统。行业协会 SEMI（国际半导体设备与材料协会）发布了在纳米和微电子生产中使用这些设备的国际安全标准。
VideoCheck® HA 和 VideoCheck® UA 的 MPE Euni 长度测量偏差分别高达 (0.25 + L/900) µm 和 (0.15 + L/2000) µm，是世界上最精确的多传感器坐标测量系统。行业协会 SEMI（国际半导体设备与材料协会）发布了在纳米和微电子生产中使用这些设备的国际安全标准。
VideoCheck® HA 可以测量公差在微米范围内的精密工件和三维微观几何形状，甚至是大型工件。该设备具有独特的设计理念，最多有三个独立的传感器轴，可实现无限制的快速多传感器测量。在获得专利的光栅扫描高清操作模式下，移动过程中捕捉到的单个图像会叠加形成高分辨率的整体图像。例如，可以自动测量带有数千个小孔的大型面板。整体图像的分辨率高达 20,000 万像素（约 140,000 × 140,000 像素，像素尺寸为 5 µm）。
SEMI 组织的指导方针在全球范围内变得越来越重要，必须由独立的第三方进行评估。在德国，该认证可由 TÜV（Technischer Überwachungsverein）执行。为此，VideoCheck® HA 根据国际半导体生产设施环境、健康和安全准则进行了调整，并配备了必要的附件。SEMI 准则包含详细的规范，特别是电气设计和抗干扰性能，同时也包括机械设计、辐射和噪音防护以及人体工程学。例如，特殊的防火罩可降低火灾负荷。地面锚固用于防震，并在紧急情况下稳定安装在减震器上的设备。在进入安全通道时，光栅可确保设备停止或设备轴以安全速度运行。
