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高纵横比工件的层析成像技术

高纵横比工件的断层扫描

为了获得高分辨率,工件与 X 射线管之间的距离必须非常小。如果要对印刷电路板等大型平面工件进行层析成像,由于长宽比较大,工件在旋转捕捉射线图像时会与 X 射线源发生碰撞。摆动式层压摄影和平面层压摄影提供了一种解决方案,即大大缩小捕捉射线图像的角度范围,或仅进行平面移动。
在摆动式层压摄影中,工件仅在一定的角度范围内旋转,例如±20 度。在平面层析成像中,工件在 X 射线束中移动,探测器和 X 射线管朝相反方向移动。由于 X 射线呈圆锥形,传输角度会发生变化。工件的这种虚拟旋转为重建工件的体积提供了足够的信息。各测量平面的横向分辨率非常高,由所选的放大倍率决定。
层析成像技术可用于分析和测量印刷电路板和电子组件、分析考古样本、大型板材或扁平塑料部件的二维测量以及测量双极板等。

高纵横比工件的断层扫描

在平面层析成像中,X 射线管、工件和探测器在不同方向的移动取代了工件的旋转。

高纵横比工件的断层扫描

层析成像的一个典型应用实例是测试印刷电路板在不同平面上的接触情况

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