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晶片
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晶片
作为集成电路基础的圆形硅片。
最重要的几何特性是整个晶圆表面的平整度。
晶片也会被检查出内含物和表面损伤。对于过程监测来说,有时对测量速度的要求非常高。
ScopeCheck® S
ScopeCheck® S
用于测量小型工件的多传感器坐标测量机
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色谱聚焦点传感器 CFP
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色差对焦变焦 CFZ
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ScopeCheck® FB
ScopeCheck® FB
带有固定门架的稳定设计,用于经济的生产控制,测量不确定度低
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Werth Image Processing BV
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VideoCheck® S
VideoCheck® S
用于测量较小工件的精密多传感器三坐标测量机
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VideoCheck® FB
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用于测量大型工件的精确的多传感器坐标测量机,可根据要求提供多个Z轴。
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Werth Image Processing BV
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VideoCheck® HA
VideoCheck® HA
用于测量大型工件的高精度多传感器三坐标测量机,可根据要求配备多个 Z 轴
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传感器
Werth Image Processing BV
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具有恒定放大率的远心镜头
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VideoCheck® UA
VideoCheck® UA
超精密多传感器三坐标测量机
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传感器
Werth Image Processing BV
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色谱聚焦点传感器 CFP
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传感器
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